찾다 플루토세미 제품

반도체 제조에서 웨이퍼 연마는 중요한 역할을 합니다. 제대로 수행된 연마 공정은 웨이퍼 표면 및 표면 하부의 무결성을 보장하여 높은 수율과 견고한 소자 성능을 보장합니다. 그러나 연마 중 발생하는 결함은 평탄도를 저하시키고, 스크래치, 패임 또는 파티클을 발생시켜 궁극적으로 신뢰성을 저하시킬 수 있습니다.