오염 관리는 현대 웨이퍼 제조의 기반입니다. 실리콘 웨이퍼는 나노미터 단위의 미세 먼지나 화학 잔류물조차도 수율과 신뢰성을 저해할 수 있으므로, 공정 중 모든 나노미터 단위의 오염은 항상 깨끗하게 유지되어야 합니다. 오염을 방지하려면 첨단 클린룸 관리, 최적화된 장비 설계, 그리고 엄격한 공정 원칙을 결합한 체계적인 접근 방식이 필요합니다.
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2025-12-08