에피택시(epitaxy)라는 단어는 그리스어 "epi"에서 유래되었는데, "~의 위에"라는 뜻입니다. 이 단어의 어원에서 실리콘 기판 위에 질화갈륨을 증착한 구조를 의미하는 "GaN on Si"라는 일반적인 표현을 쉽게 이해할 수 있습니다. 반도체 소재 제조 공정에서 웨이퍼 준비는 핵심적인 연결 고리이며, 크게 기판 준비와 에피택시 공정이라는 두 가지 핵심 단계로 구성됩니다.
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2025-12-08